Mengapa Kita Menggantikan Udara Panas dengan Lampu Inframerah dalam Proses Pengeluaran Semikonduktor
Jika anda bekerja dalam bidang pemprosesan semikonduktor yang canggih, anda pasti tahu bahawa masa merupakan musuh utama dalam proses ini. Itulah sebabnya kita beralih daripada penggunaan udara panas kepada lampu inframerah berkualiti tinggi.
Cara untuk memindahkan haba sangat penting. Penggunaan udara panas memerlukan masa yang lama. Anda hanya perlu mengalirkan gas panas ke permukaan tertentu, dan proses ini sangat lambat. Selain itu, ia juga boleh menyebabkan kotoran terhasil secara tidak sengaja. Lampu inframerah pula menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghantar haba secara langsung ke sasaran. Tiada perantaraan, tiada udara – hanya tenaga yang dihantar secara langsung.
Kelajuan merupakan faktor penting.
Bayangkan penggunaan pemanas udara. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian ruang di sekelilingnya, dan akhirnya wafer tersebut. Ia memerlukan masa yang lama. Namun dengan lampu inframerah berkualiti tinggi, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa milisaat sahaja.
Bagi seorang jurutera, ini merupakan mimpi yang menjadi kenyataan. Masa yang lebih singkat untuk setiap kitaran bermakna lebih banyak wafer dapat diproses tanpa perlu membina bilik bersih yang lebih besar. Ia memang lebih cepat.
Sekarang, mari bincangkan tentang komponen-komponen yang digunakan.
Anda tidak boleh menggunakan lampu biasa untuk tujuan ini. Kami menggunakan kuarza sintetik berkualiti tinggi kerana pelepasan gas merupakan masalah besar dalam persekitaran UHP. Sebarang kekotoran kecil dalam lampu tersebut akan merosakkan wafer.
Kami juga menyesuaikan frekuensi gelombang lampu tersebut agar haba dapat disalurkan secara efektif ke substrat, bukannya dibazirkan untuk memanaskan komponen lain. Semuanya bergantung pada ketepatan.
Tetapi ia bukanlah sesuatu yang mudah dilakukan.
Lampu inframerah mempunyai kuasa yang sangat besar. Berbeza dengan udara panas yang tersebar luas, lampu inframerah memberikan kesan yang lebih tepat. Jika pengaturan suhu tidak dilakukan dengan betul, akan timbul perbezaan suhu yang ketara.
Anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu tersebut ke dalam ketuhar lama yang menggunakan sistem pengudaraan biasa. Anda memerlukan sistem kawalan PID yang efektif, serta sistem penyejukan yang baik agar lampu tersebut tidak cepat rosak.
Satu lagi tip: pastikan bekalan kuasa stabil. Jika voltan berubah-ubah, kualiti wafer akan terjejas. Pastikan voltan tetap stabil, dan semuanya akan berjalan lancar.