Di ruang litografi, anda tahu bahawa sebarang perubahan kecil dalam suhu semasa proses pembakaran poliimid boleh merosakkan kawalan ketebalan garis dan kualiti produk yang dihasilkan. Ketidseragaman suhu di seluruh wafer merupakan masalah yang serius. Oleh itu, kami mencipta lampu inframerah yang dapat membantu mengatasi masalah ini, bukannya melawannya.
Apa yang penting di sebaliknya
Lampu ini menggunakan cahaya inframerah berfrekuensi rendah untuk memastikan pemanasan yang cepat dan stabil. Nilai kritikalnya ialah ketidseragaman suhu sekitar ±0.1°C di kawasan pemanasan, yang dicapai melalui sistem kawalan berlitar tertutup serta reka bentuk yang menggunakan bahan kuarsa untuk mengurangkan kelewatan pemanasan. Lampu ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan bahan serta reka bentuknya memastikan pengeluaran zarah-zarah berbahaya diminimumkan. Proses pemanasan yang dilakukan dengan cara yang tepat akan memastikan hasil yang konsisten, dan masa operasi yang stabil.
Mengapa ini penting dalam proses pengeluaran
Dalam operasi harian, lampu ini membantu mengurangkan variasi suhu, memastikan pengedaran bahan yang lebih konsisten, serta prestasi yang konsisten di seluruh permukaan wafer. Anda juga akan mendapat hasil yang boleh direkodkan, serta masa operasi yang boleh dipercayai. Panas akan sampai ke tempat yang diperlukan, jadi tidak ada pembaziran tenaga untuk memanaskan ruang pengeluaran. Bagi lapisan poliimid pada nod yang canggih, kawalan ini membantu mengurangkan kerja pembaikan, sisa bahan yang terbuang, serta memudahkan perancangan masa pengeluaran.
Butiran praktikal
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian agar lampu tersebut sesuai dengan geometri ruang pengeluaran, serta memastikan pandangan yang jelas ke arah permukaan wafer. Anda juga perlu melindungi alat-alat yang berdekatan daripada haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut, agar batasan suhu di bilik bersih tetap terjaga. Lampu ini akan berfungsi dengan lebih baik apabila tetapan suhu disesuaikan dengan masa tindak balas lampu tersebut, bukannya dengan cara memaksakan suhu yang berlebihan. Selain itu, perlu dilakukan pemeriksaan berkala terhadap intensiti lampu untuk memastikan ketidseragaman suhu tetap dikawal.