Di bilik pengeluaran, proses pemanasan bahan fotorezist bukanlah sesuatu yang boleh dihentikan seketika – ia merupakan langkah penting dalam proses tersebut. Perubahan suhu yang berlaku akan menyebabkan kawalan ketepatan diameter cakera menjadi tidak efektif. Lampu yang digunakan untuk proses ini akan padam, dan proses pengeluaran akan terhenti. Kami telah mencipta lampu inframerah ini untuk digunakan bersama alat-alat Applied Materials, agar ketidakpastian yang timbul dapat dikurangkan.
Apa yang penting di sebaliknya
Lampu ini menggunakan gelombang inframerah pendek untuk menghasilkan haba dengan cepat dan secara terkawal. Dengan cara ini, kawalan suhu dapat dipertahankan dengan baik semasa proses pemanasan. Ketepatan suhu pada tahap wafer adalah antara ±0.1°C, sehingga hasil pengeluaran tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Lampu ini dirancang untuk digunakan dalam ruang bersih kelas 1–100, dengan reka bentuk yang mengurangkan jumlah zarah yang terlibat dalam setiap proses pemanasan. Selubung kuarsa dan filamen yang digunakan mampu bertahan selama ribuan jam, dan antaramukanya sesuai dengan sambungan alat tersebut.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi sebenar
Dalam proses litografi yang berjalan 24/7, masa henti yang tidak dirancang boleh menyebabkan kerugian yang besar. Lampu ini direka untuk beroperasi secara berterusan, dan setakat ini ia belum pernah mengalami kegagalan yang tidak dirancang. Jangka masa penyelenggaraan boleh mencapai 5,000 jam, jadi anda akan mendapat prestasi yang konsisten dan penggunaan tenaga yang efisien. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana tindak balas lampu yang cepat serta pengurangan kerugian haba.
Beberapa nota penting untuk penggunaan di tempat kerja
Pasang lampu ini dalam julat voltan dan penyesuaian yang ditetapkan oleh alat tersebut. Sebarang perbezaan kecil boleh mempengaruhi profil suhu. Harapkan masa yang singkat untuk mencapai keseimbangan suhu setelah penggantian lampu. Lakukan ujian kualiti pada kali pertama lampu dipasang, agar parameter proses dapat disesuaikan dengan tepat. Dengan cara ini, lampu ini akan memberikan prestasi yang sama setiap hari, tanpa sebarang perubahan.