Voorkom dat je infraroodlampen je opbrengst schaden
In een halfgeleiderfabriek is het een nachtmerrie wanneer een lamp niet meer werkt. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt. Stel je voor dat een kwartsbuis onder zware belasting barst. Glasdeeltjes en stof vallen rechtstreeks op je wafers. Op die manier is je opbrengst verloren. Het is een chaos, het is duur, en het kan volledig worden voorkomen. Daarom hebben wij onze infraroodlampen op deze manier ontworpen.
Waarom barsten deze buizen eigenlijk?
Meestal komt het door thermische schokken of lokale hittepunten. Wanneer je de temperatuur verhoogt om de droogtijd te verkorten, zal de kwartsbuis uitzetten. Als er een zwakke aansluiting is of er een plotselinge stroomstoot optreedt, barst de buis.
We lossen dit op door gebruik te maken van hoogzuiver gefuseerd kwarts met een zeer specifieke wanddikte. Dit geeft de buis genoeg ruimte om de interne druk te verwerken, zodat het glas geen stress ervaart.
Voorkomen dat er vuil in komt
Om er zeker van te zijn dat niets de wafers kan raken, gebruiken we een dubbel veiligheidssysteem. Eerst hebben we de uiteinden van de buis versterkt. Hierdoor bewegen de elektroden niet, wat normaal gesproken de oorzaak is van storingen die tot een barsting leiden. Vervolgens hebben we een beschermende laag toegevoegd. Denk hierbij aan een soort ‘veiligsnet’. Als het binnenste filament kapotgaat, vangt de buitenlaag al het vuil op. Hierdoor blijven je wafers schoon.
Een tip: houd de stroomvoorziening in de gaten. Als de spanning met meer dan 5% varieert, zal zelfs de beste lamp veel te vroeg kapotgaan.
De compromissen
Eerlijk gezegd nemen deze veiligheidsmaatregelen wel een beetje van het infrarode licht op. Je zult misschien een lichte daling in de warmteopbrengst merken vergeleken met een kale, onbeschermde buis. Je kunt dit gemakkelijk oplossen door de tijd die de lamp nodig heeft om te werken aan te passen, of door nog meer lampen in de kamer te plaatsen. Het is een kleine aanpassing, maar het is zeker beter dan wakker worden met een kapotte lamp en een vervuild batch wafers.