Op de productielijn is het proces van het verhitten van de fotoreceptor geen pauze – het is juist een cruciaal onderdeel van het proces. Als de temperatuur niet nauwkeurig wordt geregeld, kan het proces niet doorgaan. De lamp gaat dan uit en de productielijn stopt met werken. We hebben deze infraroodlamp ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen bij de apparaten van Applied Materials.
Wat belangrijk is: De lamp maakt gebruik van kortegolf-infraroodlicht om snel en nauwkeurig warmte af te geven. Hierdoor kan de thermische balans goed worden behouden, zowel tijdens het zachte als het harde verhittingsproces. De uniformiteit op het niveau van de chip blijft binnen ±0,1°C, waardoor het resultaat elke keer hetzelfde is. De lamp kan worden gebruikt in ruimtes met een zuiverheidsclassificatie van 1–100. De kwartskraag en de speciaal ontworpen filaments zorgen ervoor dat de lamp duizenden uren lang betrouwbaar blijft werken. De verbindingen met de apparaten zijn optimaal afgestemd.
Waarom deze lamp geschikt is voor echte lithografieapparaten: Bij 24/7-lithografie worden ongeplande stilstandstijden gemeten in termen van chips die nooit meer kunnen worden gebruikt. Deze lamp is ontworpen voor continue werking en heeft tot nu toe geen ongeplande storingen gehad. De serviceintervallen zijn langer dan 5.000 uur, waardoor er voorspelbare onderhoudstermijnen zijn en de prestaties stabiel blijven. De energieverbruik blijft laag, omdat de reactietijd snel is en er weinig energieverlies is per chip.
Nog enkele tips voor de productielijn: Installeer de lamp binnen de toegestane spanning- en aligneringsmarges van het apparaat. Kleine afwijkingen kunnen de thermische parameters beïnvloeden. Na vervanging kan het even duren voordat de lamp zich op de nieuwe omstandigheden heeft aangepast. Voer na de eerste installatie een test uit om de instellingen te bepalen. De lamp past zich perfect aan aan de apparaten, zodat de prestaties elke dag hetzelfde blijven.