Stop met het toestaan dat kapotte lampen de kwaliteit van uw wafers belemmeren
In een halfgeleiderfabriek met hoge productiecapaciteit is het een nachtmerrie wanneer er een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit veroorzaakt, maar ook om de rommel die hierdoor ontstaat.
Wanneer een lamp kapotgaat, komen er kwartsdeeltjes en metaalloxiden op de wafers terecht. Deze vormen een soort secundaire vervuiling die niet alleen één enkele wafer beschadigt, maar zelfs hele ladingen wafers kan vernietigen. Het is een kostbaar en frustrerend probleem.
We hebben besloten dit op te lossen door opnieuw na te denken over de manier waarop we onze infraroodlampen bouwen.
Het probleem met de bedrading
De meeste standaardbedradingen kunnen de constante hitte- en koelcyclus die nodig is voor semiconductoren niet aan. Ze breken dan.
In plaats daarvan gebruiken we coatingen van hoge kwaliteit, zoals Teflon (PTFE). Waarom? Omdat Teflon geen gassen afgeeft en ook niet smelt onder invloed van hitte. Als de isolatie smelt, komen er organische stoffen op de wafers terecht. Als de isolatie kapotgaat, ontstaan er kortsluitingen. Teflon blijft gewoon op zijn plaats. Dat is precies wat je wilt in een draad.
Het behouden van de integriteit van het glas
De meeste schade wordt veroorzaakt door thermische schokken of een zwakke aansluiting tussen het kwarts en de elektroden. We hebben deze aansluitingen versterkt om lucht buiten te houden. Hierdoor wordt voorkomen dat het wolframdraad te vroeg oxideren, waardoor de lamp langer goed blijft functioneren.
Maar eerlijk gezegd: niets is 100% waterdicht. Daarom gebruiken we beschermende laagjes. Deze kunnen misschien een klein beetje infraroodlicht blokkeren, maar ze vangen wel de brokstukken op wanneer een lamp kapotgaat. Je verliest dan misschien een klein beetje warmte, maar je behoudt je wafers. Dat is een risico dat ik bereid ben te nemen.
Let op de hittedichtheid
Lampen met hoge vermogens zijn ideaal voor snelle procesgangen. Maar zoveel hitte zorgt voor veel spanning op het kwarts.
Hier is een tip: controleer altijd of de koeling goed werkt. Als de luchtcirculatie te laag is, zullen de uiteinden van de lamp te heet worden en eerder kapotgaan dan nodig is.
Het beste van alles? Dit zijn vervangbare componenten. Je hoeft je apparatuur niet te herstellen. Controleer gewoon de spanning en het vermogen, verbind de draden, kalibreer je pyrometer en je bent weer klaar voor gebruik.