Op de 300mm-linie faalt het TSV-proces wanneer het thermische profiel verandert. Al een graad verschil over het wafer is voldoende om de verbindingen tussen de verschillende lagen te beschadigen, de fotoresist te vernietigen en maandenlang werk te verwoesten. De Heater moet dus een constante warmte leveren – niet alleen maar warmte.
Wat er onder de motorkap gebeurt Wij hebben de TSV-heater ontworpen met behulp van kortgolf-infraroodelementen en een kwarts-ceramisch systeem, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd. De uniformiteit op het niveau van het wafer is ±0,1°C over de hele diameter. De herhaalbaarheid van de instellingen is ±0,2°C per keer dat het proces wordt uitgevoerd. Het systeem past in schone ruimtes van klasse 1–100, kan 24/7 draaien en is bestand tegen meer dan 5.000 uur gebruik, met minder dan 5% afwijking in de output. De temperatuur kan snel worden verhoogd tot 10°C/s, zodat de productietijd wordt verkort zonder dat het thermische budget wordt overschreden.
Waarom dit wordt gebruikt in het TSV-verwerkingsproces Het TSV-proces bestaat uit lithografie, etching, het aanbrengen van een laag, het planten van ‘zaden’ en elektrisch bewerken. Hierbij wordt ook fotoresist gebruikt. Je hebt een proces nodig dat elke keer in dezelfde tijdsspanne wordt uitgevoerd: eerst een zachte behandeling om de oplosmiddelen te verwijderen, daarna een harde behandeling om de maskers vast te zetten, en tenslotte een sterke afkoeling om de verbindingen tussen de lagen te beschermen. Onze heater houdt het wafer altijd op de juiste temperatuur, batch na batch. Hierdoor wordt de controle over de belangrijkste afmetingen verbeterd, zijn er minder defecten en kan je beter plannen voor de productie. Ook het energieverbruik neemt af: de gewenste temperatuur wordt snel bereikt en behouden, zonder dat er sprake is van overschrijdingen.
Wat je nodig hebt De platform heeft een speciale stroomvoorziening en een zuivere gasbron nodig. Als het apparaat in een oudere machine wordt geplaatst, moet er vaak een mechanisch systeem en een compatible firmware worden gebruikt. Plan goed het thermische budget, rekening houdend met de heater, de chuck en de bescherming. Voer eerst een kort testproces uit om de instellingen te bepalen; daarna blijft het proces stabiel.