Прекратите нагревание стенок камеры
Если вы когда-либо работали с обычными конвективными или всеобъемлющими системами нагрева в полупроводниковых камерах, вы знаете, насколько это раздражает. Вы пытаетесь нагреть пластину, но в итоге нагревается всё, кроме самой пластины. Внутренние стенки камеры перегреваются, корпус оборудования также повреждается, а операторы оказываются в постоянной опасности. Это расточительство энергии и причина множества проблем для всех участников процесса.
Мы используем другой подход: мы применяем направленные инфракрасные лампы, которые направляют энергию именно туда, где это необходимо – прямо на пластину.
Как это работает на практике
Представьте себе обычный нагреватель. Он излучает тепло во все стороны, под углом 360 градусов. Это создает много проблем. Наши инфракрасные лампы используют отражатели и специальную настройку длины волны для направления энергии в нужное место. Вместо того чтобы окружающее оборудование служило своего рода «губкой» для тепла, как в случае с обычными нагревателями, тепловой поток остается сосредоточенным на пластине. Пластина достигает желаемой температуры, а остальная часть оборудования остается прохладной.
Недостатки и способы их устранения
Эти лампы имеют высокую мощность. Но это значит, что необходимо тщательно контролировать процесс охлаждения. Если высота фокусировки неправильная или отражатель загрязнен, тепло снова будет распространяться по стенкам камеры. Секрет заключается в тщательной настройке фокусировки. Если тепло останется на поверхности пластины, всё будет в порядке.
Что это значит для вашей повседневной работы
Во-первых, охлаждающие устройства в вашем заводе будут работать гораздо менее интенсивно. Кроме того, температурный профиль на поверхности пластины становится более точным, что способствует повышению единообразия процесса. Ещё одним преимуществом является то, что обслуживание оборудования становится гораздо проще. Вам не придется бороться с остаточным теплом, которое проникает во внутренние стенки камеры.
Советы по подключению к сети
Убедитесь, что ваш источник питания может выдержать начальный пик нагрузки. Эти лампы мгновенно достигают полной мощности. Они не нагреваются постепенно, как старые керамические элементы.
Это требует определенного баланса. Вы получаете гораздо более быстрые циклы нагрева, но вам придется настроить контроллеры PID так, чтобы они реагировали быстро, чтобы не превысить желаемую температуру.