ในโรงงานผลิตชิปคอมพิวเตอร์ กระบวนการแปรรูปวัสดุแก้วนั้นไม่สามารถปล่อยให้เกิดความผันผวนทางอุณหภูมิได้เลย หากอุณหภูมิในการอบไม่แม่นยำแม้แต่ 0.5°C ก็จะส่งผลให้ความหนาของสารฟอโตรีซิสต์เปลี่ยนแปลงไป ส่วนการอบด้วยความร้อนสูงโดยไม่มีความสม่ำเสมอ ก็จะทำให้รูปร่างของชิปเปลี่ยนไปได้ ดังนั้น การควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำจึงเป็นสิ่งสำคัญมาก และระบบหลอดไฟอินฟราเรดถือเป็นวิธีเดียวที่จะทำเช่นนั้นได้
สิ่งที่สำคัญในกระบวนการผลิต เราได้ออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้กับวัสดุแก้ว โดยปรับให้สเปกตรัมของแสงที่ออกมาเหมาะสมกับการดูดซับความร้อนที่น้อย และสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ในบริเวณที่มีการอบ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำก็อยู่ในระดับที่ดี ซึ่งช่วยให้ค่า Cp/Cpk คงที่ตลอดการใช้งาน นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ยังเหมาะสำหรับการใช้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีการตรวจสอบไม่ให้มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย แสงที่ออกมาจากหลอดไฟจะมีความเสถียรตลอดเวลากว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความผันผวนของความเข้มแสงน้อยกว่า 5%
เหตุใดจึงสำคัญสำหรับกระบวนการลิโธกราฟี ในกระบวนการลิโธกราฟี สิ่งนี้หมายถึงการอบด้วยความร้อนที่สม่ำเสมอ และช่วยให้สามารถควบคุมความหนาของชิปได้ดีขึ้น อีกทั้งยังช่วยลดจำนวนข้อบกพร่องของชิปได้อีกด้วย นอกจากนี้ ยังช่วยให้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และช่วยลดการใช้พลังงานต่อแต่ละชุดการผลิต รวมถึงช่วยลดจำนวนชิปที่เสียหายได้อีกด้วย อุปกรณ์นี้ยังสามารถใช้กับรูปแบบชิปมาตรฐานได้ และสามารถนำมาใช้ร่วมกับระบบการเคลือบและการอบที่มีอยู่ได้ ซึ่งช่วยให้กระบวนการผลิตยังคงราบรื่น และช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ดีขึ้น
สิ่งที่ควรระวังขณะติดตั้ง การติดตั้งอุปกรณ์นี้ต้องอาศัยการปรับแต่งการจัดวางอุปกรณ์ทางแสงให้แม่นยำ และต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีประสิทธิภาพ หากการระบายความร้อนไม่เหมาะสม หรือรูปร่างของตัวสะท้อนแสงไม่ถูกต้อง ก็จะทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง นอกจากนี้ แสงที่ออกมาจากหลอดไฟยังขึ้นอยู่กับความเสถียรของสายไฟด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้แหล่งจ่ายไฟที่มีคุณภาพดี คาดว่าจะต้องใช้เวลาในการปรับแต่งอุปกรณ์สักหน่อย แต่หลังจากนั้น อุปกรณ์ก็จะสามารถทำงานได้อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยลดเวลาหยุดการผลิต และลดความจำเป็นในการซ่อมแซมอุปกรณ์ระหว่างการผลิตได้