Wafer’lerinizi Temiz Tutmak ve Verimliliğinizi Yüksek Tutmak
Class 100 temiz odalarında MEMS sensörlerini kuruturken herhangi bir sorunla karşılaşmamak çok önemlidir. Küçük bir malzeme parçası ya da ısı kaynağından gelen gazlar bile verimliliğinizi ciddi şekilde düşürebilir. Bu durum oldukça sinir bozucudur.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını kullanıyoruz.
Kuvarsın Neden Önemli Olduğu
Standart cam malzemeler veya ucuz malzemeler bu tür işlemlere dayanamaz. Yüksek sıcaklıklara maruz kaldıklarında metaller gibi kirleticiler salabilirler. Daha da kötüsü, hızlı ısı değişimleri sonucunda çatlayabilir veya toz oluşabilirler. Kimse bunu istemez.
Yüksek saflıkta kuvars kullanmamızın sebebi, termal şoklara karşı mükemmel direnç göstermesidir. Ayrıca IR radyasyonu sayesinde ısı, wafer üzerindeki nemi anında buharlaştırır. Dokunma, sürtünme veya mekanik hasar olmaz.
Gereksiz Unsurlardan Kurtulmak
Hızlı kurutma için gerekli olan gücü elde etmek için lambanın içinde ne olduğu çok önemlidir. Gaz sızıntısını engellemek için yüksek kaliteli tungsten ve yüksek vakumlu kaplamalar kullanıyoruz. Böylece kısa dalga boyundaki IR ışınları tam da gereken anda wafer’e ulaşır.
“Ara parçalar” konusunda da oldukça titiz davranıyoruz. Bu lambalarda ucuz yapıştırıcılar veya organik kaplamalar bulunmaz. Neden mi? Çünkü bunlar yanarak temiz odayı kirletebilir. Kuvars kılıfından elektrotlara kadar her bir parça, gaz salmayacak şekilde seçilmiştir.
Gerçek Dünyadaki Ödünler
Bu lambalar oldukça güçlü olduğundan çok ısınırlar. Sadece wafer üzerinde değil, lambanın uçlarında da ısı birikimi olur. Soğutma sistemlerinizi mutlaka kontrol edin. Eğer hava akışı yetersizse, zamanla ısı birikimi artar ve kablolar zarar görebilir. Bu basit bir sorundur, ancak çok önemlidir.
Lambaların boyutunu küçük tuttuk ki otomatik işleme sistemlerine kolayca yerleştirilebilsinler. Standart IR lambalar gibi uyum sağlarlar, ancak asıl önemli olan şey sensörlerinizin testlerden başarıyla geçmesidir.