IR Isıtma ile Zorlanmış Hava Isıtması: Wafer işlemleri için hangisi daha etkili?
Eğer wafer işleme süreçlerinizde sıcak hava yerine kızılötesi ısıtmayı kullanmayı düşünüyorsanız, asıl mesele “daha iyi bir ısı kaynağı” bulmak değil, o enerjinin silisyum yüzeyine nasıl iletileceğidir.
Zorlanmış hava yönteminde beklemek zorundasınız; önce havayı ısıtıyorsunuz, ardından da havanın wafer’i ısıtması gerekiyor. Bu süreç oldukça yavaş ve verimsizdir.
Kızılötesi ısıtma ise farklıdır. Bu bir radyasyon yöntemidir; enerji doğrudan yüzeye ulaşır ve orada kalır. Araya aracı girmiyor.
Zaman her zaman önemlidir
Sıcak hava kullanırken termal ataletle mücadele etmek zorundasınız. Wafer’in sıcaklığının artmasını beklemek zorundasınız. Üretim ortamlarında bu durum büyük bir zaman kaybına neden olur. Kızılötesi ısıtma ise bu gecikmeyi ortadan kaldırır; ısı transferi neredeyse anında gerçekleşir.
Verimliliği düşünün: Eğer ısının dengelenmesi için 10 dakika beklemeniz gerekiyorsa, ancak kızılötesi ısıtma ile bu işlem 30 saniyede tamamlanabiliyorsa… o zaman saat başına üretebileceğiniz wafer sayısı büyük ölçüde artar. Bu da planlamalarınız için büyük bir avantajdır.
Doğru ısı seviyesini sağlama
Hepimiz eşit olmayan ısınma sorunlarıyla karşılaşmışızdır. Zorlanmış hava yönteminde soğuk bölgeler oluşur ve bu da tutarlılık açısından büyük bir sorundur.
Kızılötesi ısıtma sayesinde ise ayarlamalar yaparak bu sorunları çözebiliriz. Bölgesel ısıtma yöntemiyle lamba dizilerini ayarlayarak kenarlardaki ısı kayıplarını giderebiliriz. Sonuç olarak, 300 mm’lik yüzeyin tamamında eşit bir ısı dağılımı elde edilir. Hiçbir sürpriz olmaz.
Ancak bir dezavantaj var…
Kızılötesi ısıtma sihirli bir çözüm değildir. Isı yoğunluğu çok yüksektir. Bu yüzden, PID döngülerinin doğru şekilde ayarlanmaması durumunda hedef sıcaklığı aşmak kolaydır. Hızlı tepki veren sensörler ve kepenkler kullanmalısınız; aksi takdirde waferler bozulabilir.
Ayrıca, işlem bittiğinde bu ısıyı hızla uzaklaştırmak için güçlü bir soğutma sisteminize ihtiyacınız var. Aksi takdirde iç kısımlar zarar görebilir ve bu da tamir edilmesi zor bir durumdur.