Üretim alanında, cam yongalarının işlenmesi sırasında termal değişimlere yer yoktur. Eğer yumuşak pişirme işlemi hedef sıcaklıktan 0,5°C bile saparsa, foto direnç kalınlığındaki değişikliklerle mücadele etmek zorunda kalırsınız. Eğer sert pişirme işlemi düzgün bir şekilde yapılmazsa, desenlerde bozulmalar meydana gelir. Termal kontrolü sağlamak için kızılötesi lamba sistemleri tek çözümdür.
Önemli olan faktörler
Cam için özel olarak tasarlanmış kısa dalga boyundaki kızılötesi lambalar kullanılır. Bu lambaların spektral çıkışları, düşük termal kütleli malzemelerin emilim özelliklerine uygun şekilde ayarlanır ve hızlıca sıcaklığa ulaşır. Pişirme bölgesinde yonga seviyesindeki tutarlılık ±0,1°C civarındadır ve sürekli kullanım durumunda Cp/Cpk değerlerinin sabit kalması sağlanır. Montaj işlemi, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde yapılır ve yerinde parça izleme ile partikül oluşumu engellenir. Lambanın verimi 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Litografideki avantajları
Litografi işlemlerinde bu sayede cam substratlar üzerinde tutarlı yumuşak ve sert pişirme işlemleri gerçekleştirilebilir; CD kontrolü daha iyi olur ve kusur yoğunluğu azalır. Ayar noktasına daha hızlı ulaşılır, her parti için gereken enerji azalır ve atılacak yonga sayısı düşer. Standart yonga formatlarını destekler ve mevcut üretim hatlarına kolayca entegre edilebilir. Böylece termal performans artırılırken üretim süreci bozulmaz.
Montaj sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Montaj işlemi, hassas optik hizalamalar ve etkili bir termal yönetim sistemi gerektirir. Eğer soğutma sistemleri uyumlu değilse veya yansıtıcıların geometrisi doğru değilse, tutarlılık bozulur. Lambanın verimi, hat stabilitesine bağlıdır; bu yüzden temiz ve düzenli bir güç kaynağı kullanılmalıdır. Kalibrasyon için biraz daha zaman gerekebilir; ancak bundan sonra işlemler tekrarlanabilir hale gelir ve böylece üretimde kesintiler olmaz.