Oda duvarlarını ısıtmayı bırakın
Eğer daha önce yarı iletken üretim odalarında standart konveksiyonel veya her yöne ısı yayma sistemleri kullanmışsanız, bunun ne kadar sinir bozucu olduğunu bilirsiniz. Wafer’i ısıtmaya çalışırsınız, ancak sonuçta wafer dışındaki her şey ısınır. İç duvarlar aşırı derecede ısınır, ekipmanların gövdesi zarar görür ve operatörler de devasa bir güvenlik tehlikesiyle karşı karşıya kalır. Bu durum hem enerji israfıdır hem de ilgili herkes için baş ağrısına neden olur.
Biz bunu farklı şekilde hallediyoruz. Enerjiyi tam da gereken yere, yani wafer’in üzerine yönlendiren doğrusal kızılötesi lambalar kullanıyoruz.
Nasıl çalışır?
Direktif ısıtıcıları düşünün; bu cihazlar ısıyı her yöne, 360 dereceye yayar. Bu durum oldukça karmaşıktır. Bizim kızılötesi lambalarımız ise yansıtıcılar ve belirli dalga boyları sayesinde enerjiyi doğru yere yönlendirir. Çevredeki ekipmanlar ısıyı emmek yerine, ısı akışı odaklanmış olur. Böylece wafer istenen sıcaklığa ulaşır ve makinenin geri kalan kısmı soğuk kalır.
Avantajlar ve bunlarla nasıl başa çıkılır?
Bu yüksek güçlü lambalar çok hızlı çalışır. Ancak bu hız, soğutma sistemlerinin de aynı şekilde hızlı çalışması gerektiği anlamına gelir. Eğer hizalama yanlış yapılırsa veya yansıtıcılar kirlenirse, ısı tekrar duvarlara yayılmaya başlar. Buradaki püf nokta, odak uzunluğunu mükemmel şekilde ayarlamaktır. Isıyı substratın üzerinde tutarsanız her şey yolunda gider.
Günlük işleriniz açısından ne anlama gelir?
Öncelikle, tesisinizdeki soğutucular o kadar zor çalışmak zorunda kalmaz. Ayrıca wafer üzerindeki termal profil çok daha düzenli olur; bu da işlem birimliliğini artırır. Üstelik bakım işlemleri de çok daha az stresli hale gelir. Bir şeyleri tamir etmek için içeri girdiğinizde artık iç duvarlara sızan ısıyla uğraşmak zorunda kalmazsınız.
Kablolarla ilgili bir uyarı: Güç kaynağınızın bu lambaların ani yüklenmesine dayanabileceğinden emin olun. Bu lambalar neredeyse anında maksimum güce ulaşır. Eski seramik elementler gibi yavaş yavaş ısınmazlar.
Bu durum bir denge meselesidir. Daha hızlı döngüler elde edersiniz, ancak hedef değerlerin ötesine geçmemek için PID kontrol cihazlarını iyi ayarlamanız gerekir.