Lambaların patlamasının waferlerinizin kalitesini bozmasına izin vermeyin
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim hatlarında, tek bir lambanın patlaması büyük bir sorundur. Bu durum sadece üretimin durmasına neden olmaz; aynı zamanda kaos da yaratır.
Bir lamba patladığında, kuvars parçacıkları ve metal oksitleri waferlerin üzerine saçılır. Bu tür ikincil kirlilikler sadece tek bir parçayı bozmakla kalmaz; tüm partiye zarar verebilir. Bu durum oldukça maliyetli ve sinir bozucu bir sorundur.
Bu sorunu çözmek için kızılötesi lambalarımızın yapım şeklini yeniden düşündük.
Kablolarla ilgili sorunlar
Çoğu standart kablo, yarı iletken ısıtıcıların sürekli ısınma ve soğuma döngülerine dayanamaz. Bu yüzden başarısız olurlar. Biz ise kablo yerine yüksek kaliteli Teflon (PTFE) kaplamalar kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü Teflon gaz salmaz ve gövdeye yapışmaz. Eğer izolasyon malzemesi erirse, waferlerinizde organik kirleticiler oluşur. Eğer bozulursa da kısa devre meydana gelir. Teflon ise sabit kalır. Bu hem güvenlidir, hem de bir kabloya gereken özelliktir.
Camın sağlam kalması
Lambaların patlamasının çoğu, termal şok veya kuvarsların elektrotlarla buluştuğu yerdeki zayıf contalar yüzünden gerçekleşir. Hava girmesini engellemek için bu contaları güçlendirdik. Böylece tungsten filamenti erken okside olmaz ve lamba daha uzun süre sağlıklı kalır.
Ama gerçek şu ki, hiçbir şey %100 korunaklı değildir. Bu yüzden koruyucu ekranlar ekliyoruz. Bu ekranlar kızılötesi ışığın bir kısmını engelleyebilir, ancak lamba patladığında oluşan parçacıkları tutar. Biraz ısı kaybı yaşanabilir, ancak waferleriniz korunmuş olur. Bu, her seferinde tercih edeceğim bir çözümdür.
Isı yoğunluğuna dikkat edin
Yüksek güçlü lambalar, hızlı termal işlemler için idealdir. Ancak bu kadar yüksek ısı, kuvarslara büyük baskı uygular. İpuçları: Soğutma sisteminizi kontrol edin. Eğer hava akışı yetersizse, lambanın uçları gereğinden önce aşırı ısınır ve yanar.
En iyi yanı ise bunların yerine takılabilen parçalar olmasıdır. Aletinizi yeniden yapılandırmanıza gerek yok. Sadece voltaj ve gücü kontrol edin, kabloları bağlayın, pirometrenizi kalibre edin ve tekrar işinize devam edin.