На виробничій лінії процес висушування фоторезисту не є перервою у роботі – це важлива стадія процесу. Якщо температура змінюється, контроль якості CD втрачає свою ефективність. Лампа вимикається, і робота лінії зупиняється. Ми створили цю інфрачервону лампу для обладнання компанії Applied Materials, щоб усунути такі проблеми.
Що є важливим у конструкції лампи
Лампа використовує короткочастотне інфрачервоне випромінювання для швидкого та контрольованого нагрівання. Це дозволяє підтримувати стабільну температуру під час обох типів процесів висушування. Рівномірність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C, що забезпечує стабільність параметрів при кожному циклі обробки. Лампа працює в чистих приміщеннях класу 1–100; її конструкція дозволяє зменшити кількість частинок, які потрапляють у процес обробки. Кварцова оболонка та спеціально розроблений філамент забезпечують стабільну роботу протягом тисяч годин. Інтерфейс лампи ідеально підходить до контактів обладнання.
Чому лампа підходить для використання в реальних умовах
У безперервній літографії неплановані перерви в роботі означають втрату пластин, які вже не можна повернути до процесу обробки. Ця лампа розроблена для безперервної роботи, і на практиці вона функціонує без жодних проблем. Термін служби лампи перевищує 5 000 годин, що забезпечує передбачуваний період технічного обслуговування, стабільну продуктивність та стабільні результати обробки. Витрати енергії залишаються низькими завдяки швидкій реакції лампи та контролю втрат енергії – менше теплових втрат на одну пластину.
Кілька порад щодо встановлення лампи
Встановлюйте лампу в межах допусків напруги та геометричних параметрів обладнання. Навіть незначні відхилення можуть вплинути на параметри теплового режиму. Після заміни лампи може знадобитися трохи часу для досягнення термічної рівноваги. Під час першої установки необхідно провести тестування для підтвердження правильності налаштувань. Лампа ідеально підходить до обладнання, забезпечуючи стабільну роботу протягом усього часу.