На лінії з довжиною 300 мм процес створення TSV призупиняється, коли відбувається зміна температурного профілю. Достатньо лише однієї градусної зміни температури на поверхні пластини, щоб пошкодити елементи з’єднання, зіпсувати фотополімер та зруйнувати результати місяця роботи. Нагрівач повинен забезпечувати стабільну температуру – а не просто нагрівання.
Що є важливим у цьому процесі
Ми створили нагрівач для TSV на основі елементів короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварц-керамічних компонентів, щоб повністю уникнути утворення частинок. Рівномірність температури на всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а точність регулювання температури – ±0,2°C за кожен цикл. Система підходить для чистих приміщень класу 1–100, може працювати 24/7, а її термін служби становить понад 5 000 годин з відхиленням температури менше 5%. Швидкість зміни температури становить 10°C/секунду, що дозволяє скоротити час обробки без порушення термічних параметрів.
Чому це важливо для процесу створення TSV
Процес створення TSV включає літографію, етching, нанесення наповнювача та електролітичне покриття; при цьому фотополімер також піддається обробці. Потрібно, щоб температура підтримувалась на однаковому рівні щоразу: помірне нагрівання для видалення розчинників, інтенсивне нагрівання для фіксації маски, а також поступове охолодження для захисту елементів з’єднання. Наш нагрівач забезпечує точне дотримання температурного профілю для кожної партії продукції. Це дозволяє досягти кращого контролю критичних розмірів, зменшити кількість дефектів та планувати результати виробництва. Крім того, споживання енергії також зменшується – температура досягає потрібного рівня швидко, а потім підтримується без відхилень.
Що необхідно для правильної роботи системи
Для функціонування системи потрібен спеціальний джерело живлення та постачання чистого газу. Встановлення системи в старе обладнання зазвичай вимагає використання спеціальних механічних пристроїв та програмного забезпечення.Необхідно також враховувати термічні параметри всієї системи – нагрівача, кріплення пластини та захисних елементів – адже їх взаємодія залежить від геометрії конструкції. Після короткого випробувального циклу процес стає стабільним.