Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi!
Nếu bạn sử dụng lò trong phòng sạch để xử lý hoặc nướng các tấm wafer, chắc hẳn bạn đã từng cảm thấy bực tức vì năng lượng bị lãng phí một cách vô ích. Hầu hết các loại bộ phản xạ thông thường đều kém hiệu quả; chúng để cho quá nhiều nhiệt lượng tràn vào thành lò. Điều này giống như việc bạn phải trả tiền điện chỉ để làm ấm căn phòng mà thôi.
Chúng tôi đã khắc phục vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Tại sao lại chọn vàng? Bởi vì vàng có khả năng phản xạ tia hồng ngoại hiệu quả. Thay vì làm nóng toàn bộ thân lò, năng lượng sẽ được chuyển trực tiếp sang các tấm wafer.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Vấn đề không phải là tăng công suất hay bổ sung thêm năng lượng vào hệ thống. Mà là cần sử dụng năng lượng hiệu quả hơn. Bằng cách kết hợp nguồn hồng ngoại công suất cao với các bộ phản xạ được phủ bằng vàng, chúng ta có thể ngăn chặn sự lan tỏa của các photon. Nhờ đó, nhiệt lượng sẽ được tập trung vào một điểm cụ thể, giúp quá trình xử lý diễn ra nhanh hơn.
Những thách thức trong phòng sạch
Trong phòng sạch, bạn không thể sử dụng bất kỳ vật liệu nào. Nhôm rẻ tiền hoặc thép đã được đánh bóng có thể bị bào mòn hoặc giải phóng khí độc, điều này sẽ ảnh hưởng xấu đến chất lượng sản phẩm. Vàng thì không bị oxy hóa. Chúng tôi sử dụng phương pháp phủ vàng bằng chân không để đảm bảo lớp phủ này luôn ở vị trí cố định, ngay cả khi nhiệt độ thay đổi liên tục.
Lưu ý quan trọng: Hãy giữ bề mặt vàng luôn sạch sẽ. Ngay cả một chút bụi hay chất cặn hữu cơ cũng có thể làm giảm hiệu quả của hệ thống. Nếu bề mặt phản xạ bị bẩn, nhiệt lượng sẽ không được phân bố đều, dẫn đến tình trạng xuất hiện những vùng lạnh trên các tấm wafer.
Những điểm cần lưu ý
Cách thiết lập này tạo ra mật độ nhiệt cao. Điều này giúp rút ngắn thời gian xử lý, nhưng cũng gây áp lực lớn lên các bộ điều khiển PID. Bạn cần sử dụng các cảm biến phản ứng nhanh, nếu không, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn.
Đừng quên các quạt làm mát. Nếu chúng không đủ khả năng xử lý lượng nhiệt được phản xạ ở các mép lò, thân lò có thể bị biến dạng. Ngoài ra, hãy sử dụng dây dẫn có khả năng chịu nhiệt cao. Điều cuối cùng bạn muốn chính là lớp cách điện bị tan chảy gần điểm tập trung nhiệt.