Mô đun sấy wafer 200mm

Trên dây chuyền 200mm, bước sấy sau khi làm sạch là nơi mà sự sai lệch nhiệt độ nhỏ trở thành vấn đề về năng suất thực sự. Độ ẩm dư thừa và nhiệt độ...