Trong quy trình sản xuất, việc sấy khô lớp phim quang học không phải là bước tạm dừng công việc, mà chính là bước then chốt trong quy trình sản xuất. Nếu nhiệt độ thay đổi, thì quá trình sản xuất sẽ bị gián đoạn. Khi đèn chiếu sáng tắt, dây chuyền sản xuất cũng ngừng hoạt động. Chúng tôi đã chế tạo loại đèn hồng ngoại này để giúp các thiết bị của Applied Materials kiểm soát được sự biến động nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng Loại đèn này sử dụng ánh sáng hồng ngoại tần số cao để tạo ra nhiệt lượng nhanh và có thể kiểm soát được. Nhờ đó, chúng ta có thể duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình sấy khô. Mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mỗi wafer nằm trong khoảng ±0,1°C, giúp đảm bảo tính nhất quán của kết quả sản xuất từ lô này sang lô khác. Loại đèn này được sử dụng trong môi trường phòng sạch loại 1–100, với thiết kế giúp giảm lượng hạt bụi gây ảnh hưởng đến quá trình sấy khô. Vỏ bọc bằng thạch anh và sợi dây tóc được thiết kế chuyên biệt, giúp đèn hoạt động ổn định trong hàng nghìn giờ. Giao diện kết nối của đèn cũng được thiết kế sao cho phù hợp với các thiết bị của máy in phim quang học.
Lý do tại sao đèn này hoạt động tốt trong môi trường sản xuất thực tế Trong quy trình in phim quang học diễn ra 24/7, mọi sự gián đoạn không mong muốn đều gây tổn thất lớn. Loại đèn này được thiết kế để hoạt động liên tục, và trên thực tế, nó không gặp bất kỳ sự cố nào trong quá trình sử dụng. Thời gian bảo trì có thể kéo dài hơn 5.000 giờ, giúp việc bảo trì diễn ra dễ dàng hơn. Hiệu suất hoạt động của đèn cũng ổn định, giúp tăng năng suất sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng được kiểm soát tốt, vì phản ứng của đèn rất nhanh và tổn thất năng lượng được giảm thiểu.
Một vài lưu ý khi lắp đặt Hãy lắp đặt đèn trong phạm vi dung sai về điện áp và độ căn chỉnh của máy in phim quang học. Những sai lệch nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đến mức nhiệt độ. Sau khi thay thế đèn, cần chờ một thời gian để đèn đạt trạng thái cân bằng nhiệt độ. Ngoài ra, cần tiến hành kiểm tra hiệu suất của đèn ngay sau khi lắp đặt để đảm bảo tính ổn định của quá trình sản xuất. Khi được lắp đặt đúng cách, đèn sẽ hoạt động ổn định từng ngày, mà không xảy ra sự biến đổi nào.