Giữ cho các tấm wafer được khử ẩm một cách hiệu quả (và nâng cao tỷ lệ sản xuất)
Khi sấy khô các tấm wafer của cảm biến MEMS trong phòng sạch loại 100, bạn không thể chấp nhận bất kỳ sai sót nào. Chỉ cần có một mảnh vụn nhỏ nào đó hoặc một ít khí thoát ra từ nguồn nhiệt, tỷ lệ sản xuất của bạn sẽ giảm mạnh. Điều này thật đáng thất vọng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Thực tế là, thủy tinh thông thường hoặc các vật liệu rẻ tiền không thể chịu được điều kiện nhiệt độ cao. Khi chúng bị đưa vào môi trường nhiệt độ cao, chúng có thể giải phóng các tạp chất kim loại. Tệ hơn nữa, chúng có thể bị nứt hoặc tạo ra bụi khi được làm nóng nhanh. Không ai muốn điều đó xảy ra cả.
Chúng tôi chọn thạch anh vì nó có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ tuyệt vời. Hơn nữa, vì đây là ánh sáng hồng ngoại, nên nhiệt lượng có thể xuyên qua lớp ẩm trên bề mặt wafer và làm bay hơi chúng ngay lập tức. Không cần chạm vào hay ma sát gì cả; cũng không có nguy cơ xảy ra các vết xước cơ học nào.
Loại bỏ những yếu tố gây phiền toái
Để có được công suất cần thiết để sấy khô nhanh, điều quan trọng là phải chọn loại đèn có chất lượng cao. Chúng tôi sử dụng wolfram chất lượng cao và các bộ phận kín khí để đảm bảo không có khí nào thoát ra ngoài. Nhờ đó, ánh sáng hồng ngoại có thể tập trung vào bề mặt wafer một cách chính xác.
Chúng tôi cũng rất kỹ lưỡng trong việc chọn các bộ phận phụ trợ. Bạn sẽ không tìm thấy các chất kết dính rẻ tiền hoặc các lớp phủ hữu cơ trên những chiếc đèn này. Tại sao ư? Bởi vì những chất này sẽ bị đốt cháy, và khi đó chúng sẽ gây ô nhiễm cho phòng sạch. Mọi bộ phận – từ vỏ thạch anh cho đến các điện cực – đều được chọn lựa kỹ lưỡng để đảm bảo chúng không giải phóng khí gì cả.
Những đánh đổi trong thực tế
Những chiếc đèn này rất mạnh mẽ, điều đó có nghĩa là chúng sẽ tỏa nhiệt rất cao. Không chỉ ở bề mặt wafer mà còn ở các đầu đèn nữa. Bạn cần kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của đèn. Nếu dòng khí quá yếu, nhiệt độ sẽ tích tụ ở các đầu đèn, dẫn đến việc làm hỏng các dây điện theo thời gian. Đây là vấn đề dễ giải quyết, nhưng lại rất quan trọng.
Chúng tôi thiết kế các chiếc đèn sao cho chúng có kích thước vừa phải, để chúng có thể được lắp vào hệ thống xử lý tự động. Chúng có thể được lắp đặt như những bộ đèn hồng ngoại thông thường, nhưng chính độ tinh khiết của chúng mới là yếu tố quyết định việc cảm biến của bạn có thể vượt qua được các cuộc kiểm tra hay không.