Hãy ngừng để những chiếc bóng đèn hỏng phá hủy chất lượng các wafer của bạn!
Trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn với công suất cao, việc một chiếc bóng đèn hỏng là một thảm họa thực sự. Điều tồi tệ không chỉ nằm ở thời gian ngắt máy mà còn ở việc các mảnh vụn từ bóng đèn có thể làm hư hại các wafer. Loại ô nhiễm này không chỉ làm hỏng một chiếc wafer mà còn có thể phá hủy cả một lô hàng. Đó quả là một vấn đề gây khó chịu và tốn kém.
Chúng tôi quyết định giải quyết vấn đề này bằng cách thay đổi cách thiết kế các bóng đèn hồng ngoại.
Vấn đề liên quan đến dây dẫn
Hầu hết các loại dây dẫn thông thường đều không thể chịu đựng được chu kỳ nóng lên và nguội xuống liên tục của các bóng đèn bán dẫn. Chúng sẽ mau chóng hỏng. Vì vậy, chúng tôi sử dụng lớp phủ Teflon (PTFE) cao cấp cho các dây dẫn. Tại sao ư? Bởi vì Teflon không tỏa khí hay tan chảy khi tiếp xúc với nhiệt độ cao. Nếu lớp cách điện bị tan chảy, các chất ô nhiễm sẽ bám vào các wafer. Còn nếu lớp cách điện bị hỏng, thì sẽ xảy ra tình trạng chập mạch. Teflon thì vẫn giữ nguyên vị trí của mình. Đó chính là điều mà chúng ta mong muốn ở một loại dây dẫn.
Bảo vệ lớp thủy tinh của bóng đèn
Hầu hết các trường hợp bóng đèn hỏng đều xảy ra do chấn động nhiệt hoặc do lớp kín giữa thủy tinh và điện cực yếu. Chúng tôi đã tăng cường lớp kín này để ngăn không khí xâm nhập vào bên trong bóng đèn. Điều này giúp ngăn không cho sợi dây tungsten bị oxi hóa quá sớm, từ đó giúp bóng đèn hoạt động tốt hơn trong thời gian dài.
Nhưng thực tế thì không có gì là hoàn hảo cả. Vì vậy, chúng tôi thêm lớp bảo vệ vào bóng đèn. Lớp bảo vệ này có thể ngăn một phần ánh sáng hồng ngoại, nhưng nó vẫn có thể giữ lại các mảnh vụn nếu bóng đèn bị hỏng. Bạn có thể mất một tỷ lệ nhỏ nhiệt lượng, nhưng bạn vẫn có thể bảo vệ được các wafer của mình. Đó là sự hy sinh mà tôi sẵn lòng chấp nhận mỗi lần.
Lưu ý về mật độ nhiệt
Các bóng đèn có công suất cao rất hữu ích trong việc tạo ra nhiệt độ cần thiết cho quá trình xử lý bán dẫn nhanh chóng. Nhưng lượng nhiệt lớn như vậy sẽ gây áp lực lớn lên lớp thủy tinh của bóng đèn. Một mẹo nhỏ: hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của bóng đèn. Nếu lưu lượng không khí quá thấp, các đầu dây của bóng đèn sẽ bị quá nhiệt và hỏng sớm hơn dự kiến.
Điều tốt nhất là những bóng đèn này có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải sửa chữa lại toàn bộ thiết bị. Chỉ cần kiểm tra điện áp và công suất, kết nối dây dẫn, hiệu chuẩn máy đo nhiệt độ, và bạn có thể tiếp tục sử dụng bóng đèn ngay.