红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合晶圆处理？ 如果您考虑用红外加热替代传统热风加热来处理晶圆，那么关键不在于寻找“更好的”热源，而在于如何将热量有效地传递到硅片上。 使用强制空气加热时，需要等待空气先被加热，然后再让空气去加热晶圆。这个过程很慢，效率也很低。 而红外加热则不同。它属于辐射式加热...

在光刻工厂中，光阻烘烤并非一个可暂停的步骤——而是一个至关重要的环节。如果温度出现波动，那么CD精度就会受到影响。一旦灯光熄灭，整个生产流程就会停止。我们为应用材料公司的设备设计了这种红外灯，以此来消除各种不确定性。 关键点在于： 它利用短波红外线来提供快速且可控的热量，从而确保在软烘烤和硬烘烤过...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中温度漂移2℃就足以报废大量产品。产率不会因为猜测而提升。你需要的是像固定常数一样的热控，而不是另一个变量。 红外加热：亚毫米级均匀性和重复性 我们围绕稳定的近红外（NIR）发射特性设计了红外灯插座，并采用约束热场的几何结构。其回报是晶圆平面上的热分布均匀度达到亚毫米级...