في قسم التصنيع، لا يجب أن تتوقف الأضواء عن العمل في الوقت المحدد. فهي قد تتوقف في الوقت الذي لا نتوقع فيه ذلك، مما يؤثر سلبًا على عملية التعرض للضوء. كما أن هذا يؤدي إلى تغيرات في خصائص المواد المستخدمة في العملية، وبالتالي يتم رفض الرقائق قبل حتى تحديد السبب الحقيقي للمشكلة.
لقد صممنا قطع الغيار الخاصة بأضواء ASML لضمان استقرار درجة الحرارة، سواء كانت الأداة تعمل عند درجة حرارة 250 درجة مئوية أثناء عملية التعرض للضوء، أو عند درجة حرارة 120 درجة مئوية بعد ذلك.
يعتمد الأمر على العناصر الهالوجينية ذات الموجات القصيرة والمتوسطة الموجودة داخل الغلاف الكوارتزي، وهي توفر استجابة سريعة ومستقرة، مع تحكم دقيق في الطيف الضوئي. وهذا يعني أن درجة الحرارة على سطح الرقائق تظل ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وبالتالي لا تتأثر دقة الإنتاج بتغيرات درجة الحرارة.
يتم تعديل مستوى الطاقة الصادرة عن الأضواء لتتناسب مع متطلبات أجهزة ASML، كما أنها تتوافق مع واجهات الاتصال الموجودة، دون الحاجة إلى إعادة توصيل الأسلاك. كما أن المواد المستخدمة في صناعة الأضواء خالية من الغازات، ولا تنتج أي جسيمات، مما يحافظ على مستوى الجسيمات في الغرفة النظيفة ثابتًا، حتى أثناء استبدال الأضواء.
الحقيقة هي أن الآلات تعمل على مدار 24 ساعة، ويجب أن تواكب الأضواء ذلك. قطع الغيار التي نصنعها تضمن استقرار درجة الحرارة، مما يحافظ على استمرارية العملية، ويقلل من الحاجة إلى إعادة العمل مرة أخرى.
يتم تعديل مستوى استهلاك الطاقة لتتناسب مع متطلبات العملية، مما يقلل من تكلفة كل رقاقة. وبما أن فترات استبدال الأضواء معروفة مسبقًا، فإن الصيانة تتم في الوقت المناسب، وبالتالي يقل الوقت المهدر بسبب توقف الآلات.
هناك بعض الأمور التي يجب مراعاتها: قبل الطلب، يجب التأكد من جهد الضوء وتكوينه بما يتناسب مع جهاز ASML الخاص بك، ثم التأكد من إعدادات العملية بعد التركيب.
حتى مع وجود استقرار في درجة الحرارة، قد يحدث اختلاف طفيف في درجة الحرارة على الرقائق الأولى بعد استبدال الأضواء. لذا، يجب إجراء اختبارات سريعة للتأكد من جودة العملية.
كما يجب الاحتفاظ بقطع الغيار في الغرفة النظيفة، حتى لا نضطر إلى الانتظار حتى وصولها عند توقف الآلات.