Ohřev pomocí infračerveného záření oproti ventilovanému vzduchu: Který způsob je skutečně vhodný pro zpracování destiček?
Pokud uvažujete o přechodu z použití horkého vzduchu na infračervené záření při zpracování destiček, nejde tak moc o nalezení „lepšího“ zdroje tepla, ale spíše o to, jak tu energii efektivně dostat na povrch křemíku. Při použití ventilovaného vzduchu musíte čekat – nejdřív se zahřeje vzduch, a teprve potom může zahřát i destičku. Je to pomalé a neefektivní. Infračervené záření je jiné – jedná se o záření. Energie dosáhne povrchu a tam zůstane. Není potřeba žádný prostředník. Čas běží neustále Při použití horkého vzduchu musíte bojovat s tepelnou setrvačností. Musíte počkat, dokud celá komora nedosáhne požadované teploty, než začne destička cítit teplo. V výrobním prostředí je to prostě plýtvání časem. Je to velká překážka při procesech spouštění a vychlazování. Infračervené lampy odstraní tento problém. Přenos tepla je téměř okamžitý. Zamyslete se nad svou kapacitou výroby. Pokud musíte čekat 10 minut, než se konvekční proces stabilizuje, zatímco infračervený proces to zvládne za 30 sekund… no, výsledky v počtu destiček za hodinu se samy upraví. Je to obrovská výhoda pro váš harmonogram. Správné zahřívání Všichni jsme se setkali s problémem nerovnoměrného zahřívání. Ventilovaný vzduch často zanechává chladné oblasti, což je noční můra pro zachování konzistence. S infračerveným zářením můžeme upravit rozložení tepla. Pomocí rozdělení na jednotlivé zóny můžeme upravit uspořádání lamp tak, abychom eliminovali ty nepříjemné ztráty tepla na okrajích. Výsledkem je rovnoměrný tepelný profil po celé ploše destičky o velikosti 300 mm. Žádné překvapení. Nevýhody (protože vždycky nějaké jsou) Infračervené záření není magická hůlka. Hustota tepla je opravdu vysoká – opravdu velmi vysoká. Jelikož dochází k zahřívání velmi rychle, je snadné překročit požadovanou teplotu, pokud nejsou parametry systému PID správně nastaveny. Budete potřebovat senzory s vysokou rychlostí a uzávěry, které se rychle zavřou. Jinak riskujete zamčení destiček. A nezapomeňte na strategii vychlazování. Potřebujete silný chladicí systém, který okamžitě odstraní teplo po skončení procesu. Pokud to neuděláte, vaše vnitřní součásti se zkazí, a to je oprava, se kterou nikdo nechce pracovat.