Warum wir auf CNT-Infrarotheizungen für Halbleiter umsteigen
Die Welt der Halbleiter steht derzeit unter großem Druck. Aufgrund von Vorgaben bezüglich des Verzichts auf Blei sowie dem Bestreben, Energieverschwendung zu reduzieren, reichen die herkömmlichen Konvektionsöfen nicht mehr aus. Deshalb haben wir uns für Heizsysteme auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren entschieden.
Anstelle von heißer Luft, die durch den Raum geblasen wird, nutzen diese Heizungen direktes Strahlungswärme. Es gibt keine gefährlichen Stoffe, keine komplizierte Luftzirkulation – nur saubere, effiziente Wärme.
Wie die Wärme entsteht
Interessant ist dabei, dass CNT-Heizungen durch den Fluss von Strom durch ein Netzwerk aus Kohlenstoffnanoröhren funktionieren. Da diese Nanoröhren eine enorme Oberfläche haben, wird die gewünschte Temperatur bereits kurz nach Einschalten erreicht. Das ist wirklich schnell.
Außerdem wird die Wärme gleichmäßig über die Wafer verteilt. Dadurch muss man sich keine Sorgen um „heiße Stellen“ machen, die dazu führen könnten, dass die lötfähigen Verbindungen beschädigt werden. Zudem wird nur der Bereich erhitzt, der tatsächlich erhitzt werden muss – nicht der gesamte mit Luft gefüllte Raum. Das macht einfach Sinn.
Die technischen Details
Es ist nicht einfach, den Prozess des Lötvorgangs ohne Blei korrekt zu steuern. Wenn es zu heiß wird, wird das Substrat beschädigt. Ist es zu kalt, dann kann das Lötmaterial nicht richtig haften. CNT-Heizungen ermöglichen eine präzise Steuerung der Temperatur. Sie geben keine schädlichen Gase ab und benötigen kein Brennstoff – was die Betreiber der Reinräume sehr freut.
Auf dem Boden nehmen diese Geräte viel weniger Platz ein als große Konvektionsöfen. Doch Achtung: Sie sind empfindlich gegenüber Spannungsschwankungen. Wenn die Spannung in Ihrem Gebäude schwankt, kann das über Zeit zu Schäden an den Kohlenstoffnanoröhren führen. Wir empfehlen daher immer, einen speziellen Regler zu verwenden, damit die Heizgeräte nicht vorzeitig beschädigt werden.
Der Umstieg
Der Umstieg auf CNT-Infrarotheizungen bedeutet eine Erleichterung für die Energiekosten. Der lange „Aufwärmvorgang“ entfällt ganz. Man muss die Geräte einfach anschließen, die gewünschte Temperatur einstellen und schon kann man mit der Arbeit beginnen.
Es handelt sich dabei um einen einfachen Ersatz für die alten Quarzlampen, die bei zu hohen oder zu niedrigen Temperaturen zerbrechen können. So erhält man schnellere Prozesse, einen saubereren Arbeitsplatz und weniger Stress in der Produktion.