Sichere Nutzung von IR-Heizern in Umgebungen mit flüchtigen Chemikalien
Seien wir ehrlich: Die Reinigung von Wafern ist eine riskante Aufgabe. Es müssen brennbare Lösungsmittel sowie korrosive Dämpfe verwendet werden – Stoffe, die alles zerstören können. In einer solchen Umgebung ist eine herkömmliche Infrarotlampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt eher eine Gefahr dar. Schon eine kleine Funke oder undichte Stellen können zu einer Katastrophe führen.
Wir gehen dieses Risiko nicht ein. Anstelle von offenen Halterungen verwenden wir spezielle, luftdichte Verpackungen.
Wie die Abdichtung funktioniert
Das Ziel ist einfach: Die flüchtigen Gase sollen von den aktiven Komponenten ferngehalten werden. Wir versiegeln die Lampen in hochreinem Quarz oder Glas – Materialien, die den chemischen Einflüssen standhalten können. Zudem verwenden wir verschweißte Anschlüsse sowie spezielle Dichtungen, um sicherzustellen, dass das Innere der Lampe vor den „chemischen Stoffen“ draußen geschützt bleibt. Wenn wir das nicht täten, würden die Chemikalien den Quarzrohr beschädigen, bis es schließlich zerstört wird.
Wir sind außerdem sehr wählerisch bezüglich der Dichtstoffe. Wir verwenden nur solche Stoffe, die bei Kontakt mit Säuren oder Basen nicht schmelzen oder zerfallen. Denn wenn die Dichtung versagt, kommen die brennbaren Dämpfe in Berührung mit dem heißen Filament – und alles kann sofort aus dem Ruder laufen. Für uns ist es wichtig, dass die Stelle, an der die Dichtung auf das Metall trifft, intakt bleibt.
Der Kompromiss: Wärme gegen Sicherheit
Das Problem ist folgendes: Wenn man eine Schutzhülle verwendet, entsteht eine Schicht zwischen der Wärmequelle und der Wafer. Dadurch geht etwas von der direkten Infrarotstrahlung verloren.
Um das zu kompensieren, erhöhen wir einfach die Leistungsdichte der Lampen. So bleiben die Aufheizzeiten bei dem gewünschten Niveau – man muss also keine Kompromisse bei der Leistungsfähigkeit eingehen.
Ein Hinweis: Man muss die PID-Controller anpassen. Die Abdichtung verursacht nämlich einen gewissen thermischen Verzug – das System reagiert daher nicht so schnell wie eine normale Lampe. Es dauert einen Moment, bis das System wieder richtig funktioniert.
Umgang mit der Hardware
Niemand möchte sein ganzes Wochenende damit verbringen, eine Schutzhülle wiederherzustellen, nur weil eine Lampe kaputtgegangen ist. Deshalb haben wir diese Geräte so konzipiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Wir verwenden verstärkte Anschlüsse, die sicher sitzen. Das gibt ein beruhigendes Gefühl – man muss sich keine Sorgen um elektrische Entladungen während der Installation machen.
Noch eines: Überprüfen Sie die Belüftung. Diese Gehäuse halten Wärme fest – wenn die Luftzufuhr nicht ausreicht, könnten die umliegenden Sensoren überhitzen.