In der Fertigungshallen kommt es bei der Verarbeitung von Glaswafern nicht zu thermischen Abweichungen. Wenn die Temperatur während des „Soft-Baking“-Prozesses um auch nur 0,5 °C abweicht, entstehen Probleme mit der Dicke des Photoresists. Ohne präzise Kontrolle der Temperatur kann es außerdem dazu kommen, dass das Muster auf der Waferoberfläche beschädigt wird. Um die Temperatur genau kontrollieren zu können, sind Infrarotlampen die einzige Lösung.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben spezielle Kurzwellen-Infrarotlampen für den Einsatz mit Glaswafern entwickelt. Diese Lampen sind so abgestimmt, dass ihre spektrale Ausstrahlung der geringen Wärmeaufnahme des Glases entspricht und sie schnell auf die gewünschte Temperatur reagieren. In der Trocknungszone bleibt die Homogenität der Waferoberfläche bei ±0,1 °C – dabei wird auch die Wiederholgenauigkeit gewährleistet, damit die Parameter Cp/Cpk konstant bleiben. Die Anlage eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Durch die kontinuierliche Überwachung der Partikelzahl wird sichergestellt, dass keine Partikel entstehen. Die Leistung der Lampen bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensitätsabweichungen unter 5 % liegen.
Warum das in der Lithografie wichtig ist
In Lithografieverfahren bedeutet das konstante Ergebnisse beim „Soft-Baking“- und „Hard-Baking“-Prozess auf Glasuntergründen, eine bessere Kontrolle der Struktur der Wafer sowie eine geringere Defektdichte. Dadurch wird eine schnellere Erreichen des Zieltemperaturniveaus erreicht, es wird weniger Energie pro Charge benötigt, und es werden weniger unbrauchbare Wafer produziert. Zudem unterstützen diese Lampen die Verwendung standardmäßiger Waferformaten und können in bestehende Anlagen integriert werden. So bleibt der Produktionsprozess unverändert, während gleichzeitig die thermischen Eigenschaften verbessert werden.
Worauf man bei der Installation achten muss
Bei der Installation ist eine genaue optische Ausrichtung sowie eine effektive Thermomanagement-Struktur entscheidend. Wenn die Kühlung nicht richtig funktioniert oder die Geometrie des Reflektors nicht korrekt ist, verschlechtert sich die Homogenität. Die Leistung der Lampen hängt außerdem von der Stabilität der Stromversorgung ab. Es ist daher notwendig, eine saubere und stabile Stromversorgung bereitzustellen. Für die Kalibrierung braucht man etwas mehr Zeit – danach sind die Prozesse wieder reproduzierbar, was die Stillstandszeiten reduziert und unnötige Wartungsarbeiten vermeidet.