Im Bereich der Lithografie ist das Verfahren bekannt: Jede Abweichung von einem Grad beim Erwärmen kann dazu führen, dass die Dicke des Fotoleiters nicht mehr konstant bleibt. Und Uneinheitlichkeiten beim harten Erwärmen? Das bedeutet, dass die Produktqualität leidet. Wir haben daher eine Infrarotheizlampe mit zwei Rohren entwickelt, um diese thermischen Unsicherheiten zu beseitigen.
Was technisch wichtig ist: Die Infrarotheizlampe mit zwei Rohren heizt schnell und sorgt durch direkte Kopplung dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Die Quarzkapsel sowie die Reflektorgeometrie gewährleisten wiederholbare Heizprofile. Zudem sorgen die für Reinräume geeigneten Materialien dafür, dass keine Teilchen entstehen, sobald das System im Gleichgewicht ist. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – die Intensität schwankt dabei um weniger als 5%. Das System ist außerdem für einen 24/7-Betrieb ohne unplanmäßige Ausfälle konzipiert.
Warum dieses System in der Praxis funktioniert: Beim Bearbeiten von Fotoleitern ist es entscheidend, konstante Erwärmungsprofile zu erreichen, damit die Kontrolle über die kritischen Dimensionen gewährleistet bleibt. Die schnelle thermische Reaktion ermöglicht es, die Erwärmungszeit zu verkürzen, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Dadurch kann die Produktivität gesteigert werden, ohne dass das thermische Gleichgewicht beeinträchtigt wird. Diese Stabilität gilt auch für den Trocknungs- und Aushärtungsprozess – dort ist eine vorhersehbare Temperaturentwicklung entscheidend. Das Ergebnis sind weniger Fehlleistungen, weniger Ausschuss sowie eine konstante Leistung von Schicht zu Schicht.
Was man wirklich beachten muss: Die Lampe passt in vorhandene Ofenmodule und Erwärmungsplatten. Doch die Ausrichtung bezüglich der Substratoberfläche ist unverzichtbar. Selbst eine kleine Abweichung kann zu messbaren Gradienten führen. Wählen Sie daher die richtige Spannung sowie den passenden Anschluss für Ihre Anlage. Planen Sie außerdem eine kontrollierte Abkühlung am Ende jeder Schicht ein, um die Integrität des Quarzes zu bewahren.