در خط تولید، لامپها نباید در زمانهای مناسب خراب شوند؛ اما گاهی اوقات، لامپها در دقیقترین لحظات ممکن خراب میشوند. این امر باعث میشود فرآیند تولید متوقف شود. همچنین، روکشهای مورد استفاده در فرآیند تولید نیز دچار اختلال میشوند و ویفرها قبل از اینکه بتوانید علت اصلی مشکل را پیدا کنید، از بین میروند.
ما لامپهای جایگزین برای دستگاههای ASML را طوری طراحی کردهایم که بتوانیم کنترل دمایی را به خوبی حفظ کنیم؛ چه دستگاه در دمای ۲۵۰ درجه سانتیگراد باشد و چه در دمای ۱۲۰ درجه سانتیگراد.
این موضوع به عناصر سازنده لامپها برمیگردد؛ عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه و متوسط، که درون پوششهای کوارتزی قرار دارند، باعث ایجاد پاسخ سریع و پایدار و کنترل دقیق طیف نور میشوند. این امر منجر به یکنواختی دمایی در سطح ویفرها، در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد، میشود؛ بنابراین کنترل کیفیت ویفرها تحت تأثیر دما قرار نمیگیرد.
توان خروجی لامپها نیز با توان مورد نیاز دستگاههای ASML هماهنگ است؛ بنابراین نیازی به سیمکشی مجدد نیست. همچنین، مواد استفاده شده در ساخت لامپها، موادی با انتشار گاز کم و بدون تولید ذرات هستند؛ بنابراین تعداد ذرات در محیط تمیز، در حین تعویض لامپها، ثابت باقی میماند.
واقعیت این است که دستگاهها ۲۴ ساعته کار میکنند؛ بنابراین لامپها نیز باید بتوانند با سرعت دستگاهها کار کنند. لامپهای جایگزین ما، دقت دمایی لازم برای فرآیند تولید را حفظ میکنند؛ بنابراین تکرارپذیری فرآیند تولید حفظ میشود و نیاز به کارهای تکراری کاهش مییابد.
میزان مصرف انرژی نیز متناسب با الگوی دمایی مورد نظر تنظیم شده است؛ بنابراین هزینه تولید هر ویفر کاهش مییابد. همچنین، از آنجایی که زمان تعویض لامپها قابل پیشبینی است، نیاز به تعمیرات نیز کاهش مییابد.
چند نکته مهم وجود دارد که باید در نظر گرفته شوند: قبل از سفارش، ولتاژ لامپ و ساختار آن را با دستگاه ASML خود بررسی کنید؛ سپس پس از نصب لامپ، روش پخت ویفرها را نیز بررسی کنید.
حتی با وجود یکنواختی دمایی، ممکن است در چند ویفر اول، تغییرات جزئی در دما وجود داشته باشد؛ بنابراین باید یک مجموعه آزمایشی را انجام دهید.
همچنین، لامپهای جایگزین را در محیط تمیز نگهداری کنید؛ تا زمانی که خط تولید متوقف شود، نیازی به انتظار برای دریافت لامپ جدید نباشد.