چرا ما از سیستم گرمایش مادون قرمز بر پایه نانولولههای کربنی برای نیمهرساناها استفاده میکنیم؟
صنعت نیمهرساناها در حال حاضر تحت فشارهای زیادی قرار دارد. با توجه به الزامات مربوط به استفاده از مواد بدون سرب و تلاش برای کاهش هدررفت انرژی، فرهای قدیمی دیگر کافی نیستند. به همین دلیل، ما به سمت استفاده از گرمکنهای بر پایه نانولولههای کربنی روی آوردهایم.
این گرمکنها به جای تولید هوای گرم، از گرمای مستقیم برای گرم کردن استفاده میکنند. در نتیجه، هیچ عنصر خطرناکی وجود ندارد و فرآیند گرم کردن نیز سریع و کارآمد انجام میشود.
نحوه عملکرد این گرمکنها
نکته جالب این است که گرمکنهای بر پایه نانولولههای کربنی، با عبور جریان الکتریکی از شبکهای از نانولولههای کربنی، کار میکنند. از آنجایی که این نانولولهها دارای سطح بسیار بزرگی هستند، تقریباً بلافاصله پس از فعال کردن دستگاه، دمای مورد نظر حاصل میشود.
این روش بسیار سریع است. علاوه بر این، گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش میشود؛ بنابراین نیازی به نگرانی درباره نقاط داغی که میتوانند باعث اختلال در اتصالات سربرایگان شوند، نیست. همچنین، تنها بخشی که نیاز به گرمایش دارد، گرم میشود؛ نه کل محفظه پر از هوا. این روش کاملاً منطقی است.
جزئیات فنی
دستیابی به دمای مناسب برای فرآیند گرم کردن، کاری پیچیده است. اگر دما بیش از حد باشد، سطح مورد نظر خراب میشود؛ اگر دما کم باشد، رزین مورد نظر نمیتواند به خوبی به سطح بچسبد.
گرمکنهای بر پایه نانولولههای کربنی، کنترل دقیقی بر دما ارائه میدهند. این گرمکنها هیچ گاز سمی تولید نمیکنند و نیازی به سوخت ندارند؛ این موضوع باعث رضایت مدیران اتاقهای پاکسازی میشود.
از نظر فضایی، این گرمکنها فضای کمتری نسبت به فرهای قدیمی اشغال میکنند. اما توجه داشته باشید که این گرمکنها به نوسانات ولتاژ حساس هستند؛ اگر ولتاژ در تأسیسات شما نوسان داشته باشد، میتواند باعث آسیب به نانولولهها شود. ما همیشه توصیه میکنیم از یک تنظیمکننده ولتاژ مخصوص استفاده کنید تا از خراب شدن زودهنگام این گرمکنها جلوگیری شود.
تغییر به سیستم گرمایش مادون قرمز بر پایه نانولولههای کربنی
استفاده از این سیستم، راهکاری عالی برای کاهش هزینههای انرژی است. شما میتوانید دوره گرم شدن طولانی را کاملاً حذف کنید. کافی است دستگاه را وصل کنید، سرعت گرم کردن را تنظیم کنید و شروع به کار کنید.
این روش، جایگزین مناسبی برای لامپهای کوارتز قدیمی است؛ زیرا لامپهای کوارتز در دماهای بالا یا پایین، آسیب میبینند. با استفاده از این سیستم، چرخههای گرم کردن سریعتر خواهد بود، محیط کار تمیزتر خواهد بود و فشار کمتری بر روی تجهیزات وارد خواهد شد.