در فرآیندهای لیتوگرافی، شما میدانید که حتی کمترین تغییر در دما نیز میتواند باعث اختلال در ضخامت فوتورزیست شود؛ همچنین، عدم یکنواختی در دمای حرارتی نیز میتواند منجر به کاهش کیفیت محصول شود. ما لامپ گرمایشی مادون قرمز دو لولهای را طراحی کردیم تا این مشکلات را از بین ببرد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ لامپ گرمایشی مادون قرمز دو لولهای، سریع گرم میشود؛ همچنین، اتصال مستقیم آن با سطح ویفر، باعث میشود که یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. پوشش کوارتزی و ساختار منعکسکننده لامپ، باعث میشود که الگوی تابشی یکنواخت باقی بماند؛ همچنین، مواد استفاده شده در این لامپ، باعث میشود که تولید ذرات در حالت پایدار صفر باقی بماند. خروجی این لامپ در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند و تغییرات شدت نور کمتر از ۵٪ است؛ همچنین، این سیستم برای کار ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای طراحی شده است.
چرا این لامپ در فرآیندهای واقعی مؤثر است؟ در فرآیندهای فوتورزیست، این لامپ به ایجاد الگوهای یکنواخت در فرآیندهای گرمایشی کمک میکند؛ این امر باعث میشود که کنترل ابعاد مهم محصول به خوبی انجام شود. پاسخ حرارتی این لامپ به اندازهای سریع است که میتواند زمان گرمایش را کاهش دهد، بدون اینکه باعث اختلالاتی شود؛ همچنین، این پایداری در فرآیندهای خشک کردن و تثبیت محصول نیز مؤثر است؛ در این فرآیندها، کنترل رطوبت و حفرههای موجود در محصول، به دمای قابل پیشبینی بستگی دارد. نتیجه این کار، کاهش نوسانات، کاهش مواد بیکاربرد، و عملکرد یکنواخت در هر شیفت کاری است.
چه چیزهایی را باید در نظر گرفت؟ این لامپ میتواند در ماژولهای فر و صفحات گرمایشی موجود استفاده شود؛ اما تطبیق آن با سطح ویفر ضروری است. حتی کمترین انحراف نیز میتواند باعث ایجاد تغییرات قابل اندازهگیری در دما شود. باید ولتاژ و کانکتور مناسب برای این لامپ را انتخاب کرد؛ همچنین، باید برای خنکسازی مناسب در پایان هر چرخه کار، برنامهریزی کرد تا ساختار کوارتزی لامپ حفظ شود.