लिथोग्राफी प्रक्रिया में, आपको पता ही है कि थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन फोटोरेजिस्ट की मोटाई को प्रभावित कर देता है; और असमान तापमान-वितरण के कारण उत्पादन प्रक्रिया में समस्याएँ आ जाती हैं। हमने ऐसी समस्याओं से बचने हेतु ट्विन-ट्यूब इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
ट्विन-ट्यूब इन्फ्रारेड लैंप तेज़ी से गर्मी पैदा करता है, एवं इसके कारण वेफरों पर तापमान-वितरण ±0.1°C के भीतर ही रहता है। क्वार्ट्ज से बना आवरण एवं रिफ्लेक्टर, नियंत्रित तापमान-वितरण सुनिश्चित करते हैं; जबकि क्लीनरूम-उपयुक्त सामग्रियों के कारण कणों का उत्पादन शून्य ही रहता है। इस लैंप का आउटपुट 5,000+ घंटों तक स्थिर रहता है, एवं इसकी तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है। यह सिस्टम 24/7 काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है।
वास्तविक प्रक्रियाओं में इसकी उपयोगिता क्यों है?
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, ऐसे लैंपों के कारण तापमान-नियंत्रण बेहतर रहता है, जिससे उत्पादों की गुणवत्ता बनी रहती है। इसकी त्वरित ऊष्मा-प्रतिक्रिया के कारण बेकिंग समय कम हो जाता है, एवं उन्नत वेफरों पर अतिरिक्त ऊष्मा नहीं पड़ती। यही स्थिरता पैकेजिंग प्रक्रियाओं में भी लागू होती है; जहाँ नमी एवं खाली स्थानों का नियंत्रण तापमान-वितरण पर ही निर्भर है। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन में कमी नहीं आती, एवं प्रदर्शन हर शिफ्ट में स्थिर ही रहता है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
यह लैंप मौजूदा ओवन मॉड्यूलों में भी उपयोग में आ सकता है; लेकिन सब्सट्रेट के समतल स्तर के साथ इसका सही ढंग से संरेखण आवश्यक है। थोड़ा सा भी विचलन तापमान-वितरण में परिवर्तन का कारण बन सकता है। अपने उपकरण हेतु सही वोल्टेज एवं कनेक्टर चुनें, एवं प्रत्येक चक्र के अंत में ठंडक देने की व्यवस्था करें, ताकि क्वार्ट्ज की अखंडता बनी रहे।