ウェハ乾燥モジュール 200mm

200mmラインにおける乾燥工程の重要性 200mmラインでは、洗浄後の乾燥工程が小さな温度ドリフトを実際の歩留まりの問題に変える場所です。残留水分や不均一な加熱は、エッジビード、パターン崩壊、粒子欠陥として現れ、その結果、ファブは再加工や廃棄物に費用を支払うことになります。我々は、問題に対して熱...