省エネ型ウェーハヒーター

シャーシの内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置で通常の対流式や全方位加熱方式を使用したことがある方なら、その苦労はご存知でしょう。ウェハーを加熱しようとしても、結局はウェハー以外の部分が加熱されてしまいます。内壁は過度に加熱され、装置の筐体もダメージを受けます。また、作業員も巨大な危険に...