ウェーハ硬化ランプ用リフレクター

ファブフロアでは、フォトレジストのベークはオプションではなく、サーマルバジェットである。1°Cの変動はCDを移動させ、疲れたリフレクターからの粒子はウエハを廃棄させる。硬化ランプのリフレクターは、熱制御と汚染防止の最初の防御線である。 重要なのは1つの数字：ソフトベークおよびハードベーク中のウエハ...