TSV 透シリコンビア ヒーター

300mmウェーハを扱う際、熱分布が変動するとTSVの積層構造が崩れてしまいます。ウェーハ上でわずか1度の温度変動だけで、ビアが割れたり、フォトレジストがダメになったりして、1ヶ月分の作業が台無しになってしまいます。そのため、ヒーターは単に熱を供給するだけでなく、再現性のある熱供給が求められます。...