空気を加熱するのはやめよう：熱効率を高めるためのより良い方法 半導体製造工場で働く人なら、エネルギーコストを抑えつつ、所定の温度を達成するのがどれほど難しいかご存知でしょう。多くの人は、単により多くの熱を適用しようとしますが、それは無駄なことです。私たちは、金コーティングされたツインチューブ型ラン...

リソグラフィーの工程においては、ご存知の通り、わずか1度の温度変動だけでもフォトレジストの厚みが狂ってしまいます。また、硬質化処理時の不均一性は、最終的な製品品質を低下させる原因となります。そうした問題を解決するために、私たちはツインチューブ式の赤外線加熱ランプを開発しました。 技術的に重要な点...