ウェーハ用高精度IRセンサー

不安定な化学物質が存在する環境でIRヒーターを安全に使用するために 正直に言えば、ウェーハの洗浄作業は危険な作業です。可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気に常にさらされているのです。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる工具ではなく、むしろリスク要因となります。ちょっとした火花や部品の漏れだけ...