不安定な化学物質が存在する環境でIRヒーターを安全に使用するために
正直に言えば、ウェーハの洗浄作業は危険な作業です。可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気に常にさらされているのです。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる工具ではなく、むしろリスク要因となります。ちょっとした火花や部品の漏れだけで、大惨事につながりかねません。
私たちはそういうリスクを冒しません。屋外に設置する代わりに、すべてを特殊な密閉構造で包み込みます。
密封の仕組み
目的は簡単です。つまり、不安定なガスを発電部分から遠ざけることです。ランプを高純度の石英やガラスの中に封入し、化学物質の影響から守ります。また、溶接によって密封し、特定のガスケットを使って外部の「化学的な雰囲気」から内部を隔離します。これを怠ると、化学物質が石英管を腐食させ、最終的にランプが壊れてしまいます。
そして、密封材にもこだわります。酸やアルカリによって溶けたり劣化したりしないものしか使いません。もし密封が失敗すると、可燃性の蒸気が熱いフィラメントに触れて、事態が急速に悪化します。私たちにとって重要なのは、密封部分と金属部分の接続の丈夫さです。
熱と安全性のバランス
問題は、安全装置を加えると、熱源とウェーハの間に何層もの材料が挟まることです。その結果、赤外線の伝達効率が低下します。これを解決するために、ワット数を増やします。そうすれば、性能を犠牲にすることなく、安全を確保できます。
ただ一点注意が必要です。PIDコントローラーの調整が必要になります。密封構造のために、システムの反応速度が少し遅くなります。すぐに反応しないのです。
ハードウェアの扱い方
誰も、ランプが壊れただけで週末を費やして安全装置を再構築したくはありません。そのため、私たちは素早く交換できるように設計しました。強化されたコネクタを使用し、しっかりと固定されます。そうすれば、取り付け時に電気的な問題が起きる心配もありません。
最後に、換気状況を確認してください。これらの装置は熱を保持するため、十分な空気の流れがなければ、周囲のセンサーが過熱してしまう可能性があります。