ファブIR用電圧安定化回路

リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成中に0.3℃の温度変動があるだけで、製品の寸法精度が悪化し、多くの不良品が生じます。安定性を後から追及するのではなく、設計段階でそれを考慮しておく必要があります。 技術的に重要な点 私たちは、温度均一性が目的ではなく、規格として定められている赤外線...