ポリイミド焼成用赤外線ランプ

リソグラフィーの工程においては、ポリイミドの加熱処理が少しでも不安定になると、線幅の制御や歩留まりに悪影響を与えます。ウエハ全体にわたる温度の不均一性は、大きな問題となります。そうした制約に対処するために、私たちは赤外線ランプを開発しました。これにより、その制約に立ち向かうのではなく、それをうまく...