ウェーハ処理装置用温度センサー

赤外線加熱と強制送風：ウェーハの加熱にはどちらが適しているのか？ もし、ウェーハの加工において熱風から赤外線加熱に切り替えようと考えているなら、重要なのは「より優れた加熱源」を見つけることではなく、そのエネルギーを実際にシリコン表面にどうやって伝えるかという点です。 強制送風の場合、待つしかありま...