なぜ半導体製造工場は、従来の大型オーブンを捨ててIR硬化法を採用するのか 正直言って、昔ながらの対流式オーブンというのは、巨大で電力を多く消費する装置に過ぎません。速度も遅く、サイズも大きい。そして、「グリーンエネルギー」というのが単なる流行語ではなく、必須条件となっている今の時代においては、もは...

化学処理ラインを安全に運用するために：カーボンファイバー製IRランプの真実 化学洗浄ラインを運用している方なら、その厳しい環境はご存知でしょう。空気中には不安定な溶剤や可燃性の蒸気が漂っており、そうした状況では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。ちょっとした火花や高温の...

スマートファブで赤外線システムを導入する もし、クリーンルームをIndustry 4.0に対応させようとしているのであれば、単に機器にセンサーを取り付けるだけでは問題が解決しないことに気づいているはずです。実際の問題は熱です。遅延なくデジタルコントローラーの指示に従える装置が必要です。 そこで役立...

清掃用の装置を火災の原因にしないようにしましょう。化学薬品を使った清掃作業を行う際は、実質的には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気と共に作業していることになります。これは非常に危険な環境です。このような場所で通常の赤外線ランプを使用するのは、問題を招くだけです。わずかな火花やクォーツ管の微細な亀裂があれば...

ヒートを最大限に活用するために：なぜクォーツガラス製のシールドが重要なのか スマートファブを運営している方なら、その苦労はよくわかるでしょう。赤外線装置は正確に機能しなければなりませんが、工場内の環境はひどく乱雑です。そこで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。これらは、ランプを守る「ボディー...

IRランプが生産効率を台無しにするのを防ぎましょう。 半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止に陥るだけではありません。 重負荷がかかってクォーツ管が割れてしまったと想像してみてください。ガラスの破片やほこりがウェーハに直接降り注ぎます。そうなると、生産効率は完全に失われてし...

つまり、性能の高い半導体用加熱要素を探しているわけですが、高額な価格を支払いたくないということですね。 では、実際に私たちの赤外線ヒーターがその役割を果たせるかどうかが問題です。 私たちが開発した真空オーブン用の加熱要素は、そのまま取り付け替えられるように設計されています。高度な製造プロセスで必要...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成中に0.3℃の温度変動があるだけで、製品の寸法精度が悪化し、多くの不良品が生じます。安定性を後から追及するのではなく、設計段階でそれを考慮しておく必要があります。 技術的に重要な点 私たちは、温度均一性が目的ではなく、規格として定められている赤外線...

製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それは実際に生産効率を低下させる要因です。わずか0.5度の偏差でも、重要な寸法に影響を与え、溶剤の残留量が規格を超えてしまうことがあります。そのため、私たちは製造現場で使用する赤外線ランプには、熱バランスを安定させる機能を持たせていま...

製造現場では、よく知られている通り、ベーク温度が0.5℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、結果として大量のロスが出てしまいます。したがって、クリーンルーム内の空気流やウェーハの形状、リソグラフィーのスケジュールなどの影響を受けずにも、サイクルごとに一貫した加熱が可能であるこ...