ウェハーツール用赤外線ランプソケット

製造現場では、フォトレジストのベーク時に2℃の温度変動があるだけで、多量の製品ロスを招く。歩留まりは勘に頼っていては改善しない。熱制御は一定の定数のように動作しなければならず、別の変数にはしてはいけない。 赤外線加熱：サブミリ単位の均一性と再現性 赤外線ランプソケットは、安定した近赤外線（NIR）...