クリーンルーム設備のアップグレードを行うファブ
スマートファブで赤外線システムを導入する
もし、クリーンルームをIndustry 4.0に対応させようとしているのであれば、単に機器にセンサーを取り付けるだけでは問題が解決しないことに気づいているはずです。実際の問題は熱です。遅延なくデジタルコントローラーの指示に従える装置が必要です。
そこで役立...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
爆発性のある化学薬品が使用される洗浄エリアで、機器を安全に保つためにはどうすればよいのか?半導体製造ラインで働いたことがある人なら、その環境がどのようなものかわかるでしょう。化学薬品が入った槽の上に、ヒーターが設置されているのです。これは非常に危険な状況です。下には可燃性の溶剤があり、上には高熱の...
クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター
無駄な熱の浪費をやめましょう ウェーハの硬化や焼成のためにクリーンルーム内でオーブンを使用している場合、エネルギーが無駄に消費されてしまうという問題に直面します。一般的な反射板は、熱がオーブンの壁に漏れ出しやすく、結果として電力代だけが無駄になってしまいます。
私たちは、金メッキされた反射板を使用...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
赤外線加熱を利用してチップ製造における二酸化炭素排出を削減する
半導体の製造には熱が不可欠ですが、これまでの方法は正直、かなり非効率的です。ほとんどの工場では対流式のオーブンを使用していますが、これは要するに、わずかなウェーハを加熱するために大量の空気を温めるということです。まるで、ピザ1枚を温め...