清掃用の装置を火災の原因にしないようにしましょう。化学薬品を使った清掃作業を行う際は、実質的には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気と共に作業していることになります。これは非常に危険な環境です。このような場所で通常の赤外線ランプを使用するのは、問題を招くだけです。わずかな火花やクォーツ管の微細な亀裂があれば...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークはオプションではなく、サーマルバジェットである。1°Cの変動はCDを移動させ、疲れたリフレクターからの粒子はウエハを廃棄させる。硬化ランプのリフレクターは、熱制御と汚染防止の最初の防御線である。 重要なのは1つの数字：ソフトベークおよびハードベーク中のウエハ...