半導体レーザーダイオードヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベイク工程中に0.3°Cの温度ドリフトが発生するだけで、多くのウェーハがスクラップになってしまう。既にCD均一性、レジストプロファイル、パーティクルカウントを管理しており、熱変動が歩留まりと稼働率を圧迫し続けている状況だ。そこで、この半導体レーザーダイオードヒータ...