ヒートを最大限に活用するために：なぜクォーツガラス製のシールドが重要なのか スマートファブを運営している方なら、その苦労はよくわかるでしょう。赤外線装置は正確に機能しなければなりませんが、工場内の環境はひどく乱雑です。そこで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。これらは、ランプを守る「ボディー...

製造現場において、ガラスウェーハの処理では、熱変動を許容する余地はありません。たとえ0.5℃程度の温度偏差があっても、フォトレジストの厚みのばらつきが生じてしまいます。また、均一性が保てない場合は、パターンが崩れる可能性があります。熱管理を正確に行うためには、赤外線ランプシステムが最適な手段です。...