インターポーザ加熱赤外線ランプ

フロアではラインは決して止まらない—24時間365日、同じリズムで稼働する。キャリアを投入し、インターポーザをセットし、その熱処理ステップは02:00の時点でも14:00の時点でも同じ温度管理が求められる。熱プロファイルがずれると、フォトレジストのベークもずれ、CDが変動し、歩留まりが静かに悪化し...