アプライド・マテリアルズの装置用赤外線ランプ

ファブの現場では、フォトレジストのベーク処理は一時停止するわけではなく、むしろ重要な工程そのものです。温度が不安定になると、CD制御が機能しなくなります。ランプが消えると、生産ラインも停止します。私たちは、このような不確実性を解消するために、アプライド・マテリアルズの装置用にこの赤外線ランプを開発...